台積電善用EUV製程餘氫 攜手工研院研發混氫發電

台積電攜手工研院推動極紫外光（EUV）製程餘氫資源化計畫，提升製程中殘餘氫氣的使用效益，創新研發30瓩混氫燃料電池發電系統，今年進一步以150瓩進行混氫燃料電池開發設計，目標將EUV製程的餘氫100%轉化為電力。

台積電在新出爐的ESG（環境、社會責任、公司治理）電子報中指出，EUV製程需使用氫氣以維持光源的清潔與穩定，每台機台每分鐘的耗氫量超過400公升，使用後的氫氣進入真空泵後，因安全考量會與氮氣混合成約50%濃度的餘氫，通常需添加燃料或空氣燃燒轉化為無害氣體。

台積電表示，為更有效利用餘氫，2021年攜手工研院綠能系統與環境科技所投入技術研究，利用氫氣擴散速率為氮氣3.74倍的原理，將混合後的餘氫透過氫氣泵增壓，使燃料電池中陽極氫氣循環量高於氮氣循環量，讓氫氣濃度達到穩定的平衡狀態，不需純化至99%仍可發電，提高氫氣使用效益，亦避免燃燒處理過程對環境的影響。

繼與工研院新創團隊開發實驗性的30瓩混氫燃料電池後，台積電以EUV製程餘氫100%資源化為目標，2025年以製程氫氣實際用量預估，進行150瓩混氫燃料電池開發，並啟動將產生的電力導入廠區使用的評估作業，期打造更環保的綠色生產模式。

為強化南京廠自主檢測能力，台積電在南京廠成立海外廠區第1個廠務環境實驗室，並於2025年3月完成中國合格評定國家認可委員會年度驗證，已具備27種排放指標檢測技術，優於當地環保法規要求的24種。

台積電表示，南京廠並建立129支排氣風管的參數資料庫，完成5支超出內控排量的煙道改善，空汙排放量相較於實驗室建置前降低61%，水汙綜合指標削減率提升19%。

為支持各廠區及子公司所在地的員工踴躍參與志工服務，台積電提供正職員工每年1天志工假，2024年台灣廠區共29個廠處逾1.7萬名志工投入9萬1787小時服務，海外各子公司亦積極推廣志工活動，總計舉辦328場次，2316人次參與，共約6117.5志工時數。

台積電指出，2025年起進一步擴大志工假使用範圍，員工可參與公司或非公司舉辦的志工活動，且為深化海外子公司與在地社會、環境的連結，與各子公司合作建立符合當地法規的志工假申請規範，為公益服務挹注更多活力與量能。