補助產研橋接 國科會助淡江陳志欣科研創業

淡江大學化學系系主任陳志欣教授，以「半導體製程氣態分子汙染物之即時監測系統」，獲國科會113年度第2梯次科研創業計畫，共新臺幣540萬元補助。國科會這項科研創業計畫補助，鼓勵學界與產業界、研究機構進行橋接，補助具潛力之研發成果，朝向商業化及事業化邁進。淡江在這個契機，將要把研究成果變成商業與產業發展應用。

該計畫研究團隊研發出針對半導體製程的即時監測系統，提供靈活且經濟的解決方案，另邀請電機系李揚漢教授為共同主持人，預計明年成立新創公司，以新型微量氣體檢測技術打開新市場，為半導體業界提供最新問題解決方案。

團隊目前由淡江兩位校友，分別是化學系博士黃致爲負責高階技術開發；理學院應用科學博士何宗洋負責商業發展布局，未來也將持續申請政府計畫和補助，也希望募集資金儘快成立新創公司，推廣這項創新技術。陳志欣提到，「化學系學生都想唸國立研究所，但是淡江化學要在大學階段就讓學生學到很多，機會不會少於他校。」

針對該創業計畫，陳志欣指出，半導體業為臺灣重要發展項目之一，現有技術多使用大型儀器，設備昂貴且不具可移動性，難以靈活應對製程中所使用的特有氣體，「我們開發的檢測系統具備輕便、靈活，可移動並適用於不同場域，同時降低設備成本，減少傳統大型儀器的高昂費用。特別是針對半導體製程中的多種特定氣體，可隨時隨地進行整合檢測，有效提高檢測精度，具備市場擴展潛力。」

這項科研創業計畫補助串接教育部、國科會、經濟部、國發會、金管會等相關資源銜接機制，支持國家產業永續發展、促進經濟活絡進步。陳志欣笑著說，成功申請該計畫十分不容易，通過的單位多為國立大學、醫學大學或醫學單位，「團隊持續努力了3年，不斷修計劃方向才通過申請，成為國科會科研創業計畫辦公室的培育團隊。