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2023-11-28 | 匯流新聞網

業界首創非破壞性SiC缺陷檢測系統 搶攻化合物半導體商機

業界首創非破壞性SiC缺陷檢測系統 搶攻化合物半導體商機

CNEWS匯流新聞網記者謝東明、李盛雯/台北報導

半導體測試解決方案專業品牌蔚華科技(TWSE:3055)攜手旗下數位光學品牌南方科技,共同推出業界首創的JadeSiC-NK非破壞性缺陷檢測系統。蔚華科技表示,採用先進非線性光學技術對SiC基板進行全片掃描,找出基板內部的致命性晶體缺陷,用以取代現行高成本的破壞性KOH(氫氧化鉀)蝕刻檢測方式,可提升產量並有助於改善製程。

蔚華科技強調,若以每個SiC晶錠需蝕刻2片基板來計算,JadeSiC-NK可為具有100個長晶爐的基板廠,省下每年2.5億因蝕刻而損耗的成本。

蔚華科技表示,在現今環境永續意識抬頭的全球趨勢下,許多國家已制定電動車的階段性政策目標,SiC晶片需求迅速爆發,尤其用於生產電動汽車使用的耐高溫高壓SiC功率半導體元件,供給量遠遠不及需求。

化合物半導體的基板材料品質,決定下游晶片的可靠度及性能優劣,但SiC長晶速度較慢,且基板晶體缺陷只能以破壞性的KOH蝕刻方式進行抽樣檢測,使得SiC晶片製程成本居高不下,目前全球主要基板廠,皆積極投資產能擴充並改善製程,加速產業布局以搶攻市占率。

基板廠與元件廠若能在製程中對材料做全面非破壞性檢測,不僅可減少原本KOH蝕刻的有害化學溶液使用量,更能及早發現問題,進而有效改善製程、提升良率,進而在化合物半導體市場中展現絕佳優勢。

南方科技總經理王嘉業表示,目前市場上的光學技術,只能檢測表面非晶體缺陷,JadeSiC-NK系統採用先進的非線性光學技術,可對全片基板表面到特定深度進行掃描,反應晶體結構資訊,提供晶體缺陷密度及其分布狀況,讓客戶有效掌握基板品質,未來生產出的元件品質與效能也能更加穩定。

業界首創非破壞性SiC缺陷檢測系統 搶攻化合物半導體商機

蔚華科技總經理楊燿州表示,考量經銷代理的不穩定性及追求更好的獲利結構,不斷加強投資自有產品開發,以求推出更貼近客戶需求的解決方案,此次透過併購南方科技,加速自有產品的發展進程,讓蔚華從半導體封測設備跨足光學檢測,首先鎖定極具前景的化合物半導體材料缺陷檢測,對客戶、員工及投資人來說都將是非常振奮人心的新局。

楊燿州指出,除了將非線性光學技術應用在本次推出的JadeSiC-NK外,未來也將加速將南方科技在MicroLED、超穎材料、矽光子等先進光學檢測技術的商業化,持續加大研發能量有效整合集團資源,發揮綜效。

照片來源:CNEWS匯流新聞網資料照片

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