台積電才喊貴　ASML估High NA EUV製晶片數月內見

世界頂尖半導體生產設備製造商艾司摩爾（ASML）執行長福克今天說，預期幾個月內可看到使用其新一代微影設備高數值孔徑（HighNA）極紫外光（EUV）機製造的首批產品問世。

路透社報導，ASML最大客戶台積電4月才表示，HighNAEUV曝光機太過昂貴。這種機器每台價格最高可達4億美元（約新台幣126億6000萬元）。

不過，福克（ChristopheFouquet）今天在比利時的微電子研究中心（imec）主辦的一場會議上說，HighNAEUV曝光機將降低最先進晶片的圖案化（patterning）成本，無論是邏輯晶片或記憶晶片。

他並表示：「接下來幾個月內，我們將見到首批在HighNA系統上曝光（製造）的少數產品，無論是記憶體或邏輯應用。