紡織科技奠定半導體品質 文化大學紡織系培育跨領域高科技人才

在高科技產業迅速發展的今天，紡織材料的應用已經超越傳統服裝產業，成為半導體、生醫、航空等領域不可或缺的重要材料之一。特別是半導體消耗品用於半導體製造和檢查過程的材料和零件，對於半導體製程的穩定與品質極為重要。據估2024年半導體耗材市場規模達50.6億美元。隨著半導體需求的增加，對可靠、高品質消耗品的需求持續成長。

主圖圖說：文化大學紡織系師生參訪儒鴻企業大園廠。圖/文化大學紡織科技創新與應用工程學系提供

紡織材料在半導體產業的重要應用包括：

1. 無塵室關鍵材料：半導體廠內的無塵室要求極高的潔淨度，所有操作人員都必須穿著特殊的無塵衣、口罩、防靜電鞋與手套，這些紡織品均由導電纖維與高分子材料製成，可有效防止灰塵與靜電影響晶片製程。此外，無塵室內使用的高效過濾布（HEPA/ULPA）及化學濾網等，更是確保空氣品質的重要材料。

2. 化學機械研磨墊：化學機械研磨（CMP）是使用研磨劑（Slurry），將晶圓減薄或是鏡面化的一道程序。不織布CMP研磨墊藉由軟硬程度、表面形貌、以及溝槽形貌等讓研磨劑在上面不斷地流動，扮演CMP製程中超級關鍵角色。

3. 水資源淨化：半導體製程需要潔淨水與處理使用後的汙水，潔淨水處理包括RO逆滲透系統、超純水系統、冷卻水系統等；汙水處理包括回收水系統、廢水回收系統等。這些精密液體過濾仰賴高階纖維濾材或濾膜，達到節水與水資源循環使用的效益。

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