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2024-04-30 | 中央社

台積電創空污快篩即時感測儀 1分鐘掌握異常數據

台積電積極強化空污防制設備監測效能,創新研發「空污快篩即時感測儀」,可同時檢測氨等5種氣體,並同步連接「廠務監控及數據收集系統」,使數據取得時間由1週大幅縮短為1分鐘,更即時掌握並處理異常污染源。

晶圓代工廠台積電在新出爐的ESG(環境、社會責任、公司治理)電子報中指出,過往以人工採樣分析方式進行全廠煙道檢測、排放溯源調查及現址式處理設備效能驗證作業。

為更有效掌握煙道污染狀況及改善成效,台積電於民國112年1月開發空污快篩即時感測儀,應用交變電流共振固體與氣體感測技術,製作酸鹼排氣即時感測器,自主設計特殊電極結構,當氣體與電極接觸時,可藉由交流電感測特定共振訊號與強度變化,達到快速辨識污染源類別及濃度的效果。

台積電表示,不同於人工採樣僅能呈現單一時間點的非即時數據,空污快篩即時感測儀可同步對接廠務監控及數據收集系統,以即時、原位、連續式監測與圖表形式呈現數據趨勢,可以更快發現異常污染源並進行溯源追蹤。

此外,還能依煙道排放氣體的物種及濃度,評估投入中央式處理設備的藥劑最適量,精準調整酸鹼值、導電度並控制清洗水量,不僅優化處理程序、妥善運用藥劑資源,亦降低現場作業人員採樣暴露酸鹼氣體的風險。

台積電指出,空污快篩即時感測儀可同時檢測氨、氫氟酸、鹽酸、硫酸、硝酸5種氣體,截至113年4月已導入晶圓2廠、晶圓5廠、晶圓15A廠、晶圓18A廠、晶圓18B廠,預計115年導入所有台灣與海外廠區。

台積電同時評估監測氯氣、含氟化物、氮氧化物等氣體的可行性與效益,以及將感測儀應用於空品車周界監測分析,以落實空污減量。

台積電還積極強化綠色化學品管理,將不使用環境危害性化學品N-甲基(口比)咯烷酮(NMP)、全氟烷基物質(PFAS)列為永續目標之一,並進一步擴展至供應鏈原物料生產階段。

台積電表示,在不使用NMP與PFAS的基礎下,成功扶植供應商創新研發符合製程需求的高硬度、高強度、抗化性的全新世代低溫聚醯亞胺,截至113年4月已導入5奈米、3奈米製程,預計下半年2奈米製程進入試量產,達到環保與品質雙重效益。

台積電並積極打造多元共融工作環境,為強化身心障礙人才聘任與發展,舉辦為期6個月的「無障礙職場體驗營」,導入職能治療師參與招募流程及職務再設計,加速身障人才融入職場生活、提升實務能力。

台積電同時推出小班制「無障礙友善職場工作坊」,深化員工對身心障礙工作者的理解與尊重、增進互動關係。

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