台積電衝綠色循環體系 讓靶材再生、廢液也能回收

台積電積極打造綠色循環再生體系，與供應商合作開發銅錳合金靶材純化再利用技術和四甲基氫氧化銨廢液體回收再利用，促進循環經濟。

台積電在新出爐的ESG（環境、社會責任、公司治理）電子報中指出，靶材是半導體物理氣相沉積製程中的重要材料，以高純度金屬製成，過往下機後的殘靶因市場再利用需求低，且再純化難度高，供應商主要以廢五金回收方式處理。

台積電表示，因應先進製程所需的銅錳合金靶材數量增加，為更有效利用金屬資源、友善環境並增進在地供應鏈技術能力，台積電去年攜手供應商啟動「銅錳合金靶材循環再生專案」。

台積電指出，專案強化檢測、切割、酸洗包裝、熔煉檢驗、熱機械處理及成品加工整體流程，同時分享品質及製程經驗協助供應商驗證材料並反覆調整、減少異常發生率，更進一步透過現場稽核優化供應商廠區生產管理程序，確保再生的銅錳合金靶材符合半導體製程標準。

台積電表示，再生的銅錳合金靶材今年10月已導入晶圓15A廠、並於晶圓14B廠進行驗證，預計全面導入海內外所有12吋晶圓廠後，可年減碳逾700公噸。此外，台積電將持續輔導供應商升級金屬循環再生技術，預計針對鉭、鈦、鈷等金屬進行評估及驗證，以期減少原礦開採、降低碳排放，擴大永續效益。

至於四甲基氫氧化銨（TMAH），台積電指出，TMAH為強鹼性水溶液，是半導體黃光製程用量最大的化學品，因應先進製程快速發展對TMAH需求量持續上升，台積電與供應商共同投入TMAH廢液回收再生研究以期增加循環使用率。

台積電表示，今年10月已將由廢液轉製為符合製程品質標準的電子級TMAH溶液導入晶圓14B廠，11月起晶圓12A廠、晶圓14A廠、晶圓15A廠也將逐步導入使用，預計全部上線後年減新液採購量2萬4000公噸、減碳2496公噸。

此外，台積電還號召供應商響應「循環箱大聯盟」，投入出貨包材材質調整與再生研究，評估將廢棄晶圓盒開發成再生塑膠棧板導入廠區出貨使用，透過多元的資源運用形式擴大再利用效益。