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2020-03-31 | 中央社

台積電發展工業廢水再生技術 南科工程明年啟動

台積電積極發展工業廢水再生技術,預計於民國110年啟動南科園區工業廢水再生工程,導入工業再生水做為晶圓製程用水,至112年每天將達2萬噸再生水。

台積電表示,內部不斷透過「開源」與「節流」並行的方針強化用水效率,採取水資源風險管理、拓展多元水資源及水污染防治技術開發3大水管理策略。

為拓展多元水資源,台積電104年起積極發展再生水技術,成功降低廠內廢水水質相關因子,目前自產所得的再生水,不只達到半導體製程用水標準,排放水質也符合法規放流規定。

台積電今年進一步與南部科學園區管理局簽約,促建「台積電南科再生水廠」,預計明年啟動園區工業廢水再生工程,導入工業再生水做為台積電晶圓製程用水。

台積電指出,初期規劃每天可供給再生水約0.5萬噸,112年每天則將增加至2萬噸再生水。

台積電同時全力支持政府再生水政策,除提供政府再生水製程相關專業意見與推行經驗,並將採購再生水,預計113年每天將購買永康及安平兩處再生水廠生產的再生水共4.7萬噸。

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